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类别：
SHINWA
编号 :
胶阀选项： 螺杆阀、压电喷射阀
磁浮马达 (±5μm）
图像处理＆高度测量
其他各种校准系统
节省空间（占地空间：800mm×800mm）
Models
Ss
Dimension
800×800×1,380mm
Weight
800kg
Power Supply
AC200V,3Phase,30A
Gantry Speed
1,500mm/s
X / Y Positional Accuracy - 3 sigma
±5μm
Working Area
MAX:150×150mm/MIN:30×50mm
Vision
Digital Camera
Height Sensor
Laser Sensor
面向小型基板（Max：150×150、Min：30×50）
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Msl
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无
