- 产品描述
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特征・特点
▎ 在焊线机UTC-5000的基础上，实现30 ms／bump的高速焊接
▎ 配有旋转晶圆台，可焊接3～6英寸的晶圆
▎ 采用双晶圆台及升降温控制功能，缩短更换晶圆时间，提高生产能力
▎ 通过基于新川NRS技术的低振动高速驱动，可稳定焊接45μm焊垫间距
▎ 通过采用新川RPS技术，可自动校准劈刀尖端的位置，实现焊接位置的高精度化，减轻更换劈刀时的工作量
▎ 通过初始球径自动监测功能（FAM），可测量初始球径
▎ 在焊接时的接地检测方式中增加可实时检测荷重变化的“荷重检测模式”，
▎ 将以往的“位置检测模式”设置为可选，以确保稳定的品质
应用场景
BIM：Bond Inspection Measurement （接合球位置检测功能）
BIM是通过焊接后的图像，计算出焊接位置的偏移量，从而进行焊接位置补正的功能。实时修正由于焊接时各种变动所导致的位置偏移，追求焊接精度的稳定化。
FAM ：Free Air ball Measurement （初始球自动监视功能）
FAM是通过监视焊线初始球的径和形状，使初始球形状稳定化的新川自有功能。对于检测来说，可以高效利用此名为Reference Positioning System (RPS)，对劈刀前端位置摄像的功能。这也是支撑UTC-5000系列高信赖性焊接的功能。
